| 纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究 |
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| 引用本文： | 程广贵,丁建宁,凌智勇,坎标,范真,石超燕. 纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究[J]. 摩擦学学报, 2008, 28(3): 207-212 |
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| 作者姓名： | 程广贵 丁建宁 凌智勇 坎标 范真 石超燕 |
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| 作者单位： | 1. 江苏大学微纳米科学技术研究中心,江苏镇江,212013
2. 江苏大学微纳米科学技术研究中心,江苏镇江,212013;江苏工业学院,江苏常州,213016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，新世纪优秀人才支持计划，江苏大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2.7 nm的DLC膜,采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析,用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度,用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能.结果表明,以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷(187)为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷(APS)为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低,薄膜的最上层为DLC膜.在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数(0.117～0.137),在低载荷条件下,含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜,且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳;在高载荷条件下,硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能.
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| 关 键 词： | 磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA) 弹性复合薄膜 DLC膜 偶联剂 摩擦性能 |
| 文章编号： | 1004-0595(2008)03-0207-06 |
| 修稿时间： | 2007-09-12 |
Preparation, Characterization and Tribological Properties of Elastic Nanocomposite DLC Monolayers |
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| CHENG Guang-gui,DING Jian-ning,LING Zhi-yong,KAN Biao,FAN Zhen,SHI Chao-yan. Preparation, Characterization and Tribological Properties of Elastic Nanocomposite DLC Monolayers[J]. Tribology, 2008, 28(3): 207-212 |
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| Authors: | CHENG Guang-gui DING Jian-ning LING Zhi-yong KAN Biao FAN Zhen SHI Chao-yan |
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