波谱仪探测效率T的数学模型与实验标定

电子探针波谱仪的x线探测效率T可以看成是4个因子的积,T=G_1·G_2·G_3·G_4。其中,G_1是张角因子,G_1=1/L,G_2是吸收因子,反映分光晶体与计数器窗膜对x线的影响,G_2=e~(-A_5λn),G_3是光电因子,反映计数器气体的光电效率,G_3=1-e~(-A_4λn),G_4是几何状态因子,反映制造工艺与调整状态以及其它因素的影响,即,G_4=1/(A_1 A_2L A_3L~2)可以用5组实测数据解出五个常数A_1,A_2,A_3,A_4,A_5,文中以733型电子探针为例,列举了测量线段的划分、探测效率T的实验标定以及应用于实际测量分析的数据及实测结果。