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Untersuchungen an verschleißfesten Dünnschichten hergestellt durch reaktives Kathodenzerstäuben |
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| Authors: | O Knotek W Bosch |
| Institution: | 1. Lehrstuhl B und Institut für Werkstoffkunde, RWTH Aachen, Templergraben 55, D-5100, Aachen, Bundesrepublik Deutschland |
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| Keywords: | |
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