膜片式带温补结构的光纤光栅压力传感器 |
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引用本文: | 于璐瑶,赵强,杜大伟,等. 膜片式带温补结构的光纤光栅压力传感器[J].光子学报,2022,51(3):0306007DOI:10.3788/gzxb20225103.0306007 |
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作者姓名: | 于璐瑶 赵强 杜大伟 曲轶 |
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作者单位: | 1.海南师范大学 物理与电子工程学院 海南省激光技术与光电功能材料重点实验室, 海口 571158;2.齐鲁工业大学(山东省科学院) 海洋仪器仪表研究所, 山东 青岛 266061 |
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基金项目: | Major Science and Technology Program of Hainan Province(ZDKJ2019005);National Key Research and Development Program(2018YFF01014101);National Natural Science Foundation of China(61864002;61964007;61933004);Natural Science Foundation of Shandong Province(ZR2019MF022);Integration of Defense and Civilian Technologies Project of Shandong(2019JMRH0105);Hainan Provincial Key Research and Development Project(ZDYF2020020;ZDYF2020036;ZDYF2020217);China Engineering Science and Technology Development Strategy Project(19⁃HN⁃XZ⁃07);High-Level Talents Program of Hainan Basic and Applied Basic Research Program (Natural Science)(2019RC190;2019RC192);Scientific Research Project of Higher Education Institutions of Hainan Province(Hnky2020⁃24;Hnky2020ZD⁃12);Research Project of Academician Innovation Platform in Hainan Province(YSPTZX202034) |
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摘 要: | 用栅区仅为1 mm、间隔仅为20 mm的超短光纤光栅串,借助激光焊接工艺制作出长度约为40 mm,直径约为20 mm的基于弹性膜片增敏的带温补结构的光纤光栅压力传感器,用于海洋深度探测.在0.6 MPa测量范围内,传感器的理论压力灵敏度为?1.218 nm/MPa,利用有限元分析法仿真得到的压力灵敏度为?1.364 n...
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关 键 词: | 光纤光栅 压力传感器 有限元分析法 弹性膜片 海洋 |
收稿时间: | 2021-06-22 |
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