| 基于马赫-曾德尔干涉仪的1×8硅基热光开关 |
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| 引用本文： | 高小勇,刘阳阳,胡光熹,陆梁军,罗海梅.基于马赫-曾德尔干涉仪的1×8硅基热光开关[J].光学学报,2024(8):123-132. |
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| 作者姓名： | 高小勇 刘阳阳 胡光熹 陆梁军 罗海梅 |
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| 作者单位： | 1. 江西师范大学江西省光电子与通信重点实验室;2. 上海交通大学平湖智能光电研究院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（11804133）；;江西省主要学科学术和技术带头人培养项目（20232BCJ22012）；;江西省教育厅科学技术研究重点项目（GJJ2200306）；;江西师范大学研究生创新基金项目（YJS2022086）； |
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| 摘 要： | 设计并制备了一种基于树形结构的1×8硅基热光开关，该热光开关由1个2×2和6个1×2马赫-曾德尔干涉仪的基本单元结构组成。该1×8硅基热光开关采用与互补金属氧化物半导体兼容的工艺制造。通过氮化钛加热器来改变波导的温度，利用硅的热光效应实现光开关功能。实验结果表明：在1550 nm工作波长下，该热光开关的平均片上插入损耗约为1.1 dB；所有输出端口的串扰都小于-23.6 dB；开关响应时间小于60μs。
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| 关 键 词： | 集成光学 硅基开关 马赫-曾德尔干涉仪 热光开关 |
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