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MEVVA金属离子源的研制与调试
引用本文:高玉 耿漫. MEVVA金属离子源的研制与调试[J]. 核聚变与等离子体物理, 1994, 14(3): 54-60
作者姓名:高玉 耿漫
作者单位:四川成都核工业西南物理研究院
摘    要:本文介绍的MEVVA源采用电动推进式可更换单阴极弧放电机构和加减速三栅引出系统,耐压水平在于50kV,平均束流大于5mA,束班约Ф150,束的不均匀度小于±20%。束的分布测量表明,在中心区有约Ф40的平顶区。我们已获得了Al,Ti,Cr,Fe,Ni,Cu,Y,Zr,Mo,Ta,W,C,LaB6等的离子束流及其最佳的运行条件。

关 键 词:MEVVA 离子源 表面改性 离子注入

DEVELOPMENT AND EXPERIMENTS OF A MEVVA ION SOURCE
Gao Yu, Geng Man, Yu Yijun, Tang Deli, Huang Yuming, Gong Xiaorong. DEVELOPMENT AND EXPERIMENTS OF A MEVVA ION SOURCE[J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 1994, 14(3): 54-60
Authors:Gao Yu   Geng Man   Yu Yijun   Tang Deli   Huang Yuming   Gong Xiaorong
Abstract:
Keywords:MEVVA ion source Surface modification
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