| 化学气相传输法生长ZnO单晶 |
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| 引用本文： | 赵有文,董志远,魏学成,段满龙,李晋闽.化学气相传输法生长ZnO单晶[J].半导体学报,2006,27(2):336-339. |
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| 作者姓名： | 赵有文 董志远 魏学成 段满龙 李晋闽 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京 100083;中国科学院半导体研究所,北京 100083;中国科学院半导体研究所,北京 100083;中国科学院半导体研究所,北京 100083;中国科学院半导体研究所,北京 100083 |
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| 摘 要： | 利用化学气相传输法生长了ZnO单晶.通过控制源区和生长端的温度梯度,使用碳辅助增强质量传输效应,在无籽晶自发成核的条件下,得到了晶粒尺寸达5mm×8mm的ZnO晶体.利用长有GaN层的蓝宝石晶片作为籽晶,得到了直径32mm、厚4mm左右的ZnO单晶体.用光致发光谱和X射线双晶衍射研究了ZnO晶体的性质并对生长的热力学过程和现象进行了分析.
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| 关 键 词： | 氧化锌 化学气相传输 单晶生长 化学 气相传输 生长 单晶体 Method Chemical Vapor Transport Single Crystal 分析 现象 热力学过程 性质 研究 双晶衍射 射线 光致发光谱 直径 蓝宝石晶片 晶粒尺寸 条件 自发成核 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)02-0336-04 |
| 收稿时间： | 08 1 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 10 14 2005 12:00AM |
Growth of ZnO Single Crystal by Chemical Vapor Transport Method |
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| Zhao Youwen,Dong Zhiyuan,Wei Xuecheng,Duan Manlong and Li Jinmin.Growth of ZnO Single Crystal by Chemical Vapor Transport Method[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(2):336-339. |
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| Authors: | Zhao Youwen Dong Zhiyuan Wei Xuecheng Duan Manlong and Li Jinmin |
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| Institution: | Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China |
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| Abstract: | A ZnO single crystal is grown by a chemical vapor transport method.The size of the self-nucleated grown ZnO single crystal is 5mm×8mm through the control of temperature gradient of source and growth zones and the assistance of mass transport enhancement effect of carbon in the growth process.By using a GaN buffered sapphire substrate,a ZnO single crystal of 32mm diameter,4mm thick is obtained.PL spectroscopy and X-ray diffraction technique are used to characterize the properties and the quality of the ZnO single crystal.Thermodynamic phenomena of the single crystal growth process are also discussed. |
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| Keywords: | zinc oxide chemical vapor transport single crystal growth |
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