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钛酸盐系铁电薄膜及其应用的最新进展
作者姓名:刘一声
作者单位:四川压电与声光技术研究所
摘    要:本文回顾了近年来具有钙钛矿型结构的BaTiO_3、PbTiO_3、PZT和PLZT钛酸盐系铁电薄膜的制法、主要性能及其应用的最新进展,其应用包括固定存贮FET、低阈值电压AC薄膜场致发光器件、线性阵列传感器、高速TIR光开关、SAW器件、声光布喇格偏转器和微型湿度传感器等.

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