| 大视场紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算 |
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| 引用本文： | 林大键,周崇喜,尹燕.大视场紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算[J].微细加工技术,1999(4). |
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| 作者姓名： | 林大键 周崇喜 尹燕 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都610209 |
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| 摘 要： | 叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照明光能分布不均匀性小于±２ ％ 。
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| 关 键 词： | i线 照明 光学系统 模拟计算 |
Construction principle of i line illumination optical system and simulation calculation of the intensity distribution |
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| LIN Da jian,ZHOU Chong xi,YIN Yan.Construction principle of i line illumination optical system and simulation calculation of the intensity distribution[J].Microfabrication Technology,1999(4). |
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| Authors: | LIN Da jian ZHOU Chong xi YIN Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | i line Illumination Optical system Simulation calculation |
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