|
|||||
|
|
| 薄膜光学 薄膜材料与器件 | |
| 摘 要： | TB43 2005053687 静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜=Electrostatic comb ac- tuator membrane deformable mirrors刊,中]／阎金良(烟台 师范学院物理系．山东,烟台(264025))∥半导体光电．- 2005,26(1)．-19-21 提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反 射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射 镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变 形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳 齿驱动器的驱动能力。结果表明,变形反射镜的静电驱动 力和变形位移没有关系;在相同的面积下,纵向梳齿驱动 器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力大很多。图1参6 (严寒) |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |