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| 分子束外延设备的微机控制系统 | |
| 引用本文： | 刘培铭, 周玉美, 曾石安, 马久燕. 分子束外延设备的微机控制系统[J]. 物理, 1988, 17(6). |
| 作者姓名： | 刘培铭 周玉美 曾石安 马久燕 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 |
| 摘 要： | 分子束外延设备是发展分子束外延技术的大型仪器．它用于生长新型的薄膜材料，以研究新材料、新器件、新效应．国产分子束外延设备经过几年的努力，已达到较高水平，但是要提高其性能，特别是为生长超晶格材料，计算机的控制是不可缺少的．我们为国产的分子束外延设备研制了第一台微机控制系统．微机控制系统解决了分子束外延设备最重要的两个部分的控制劫能：八个加热炉的炉温控制和五个加热炉快门的开、关控制．此处采用ＡＰ?... |
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