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| 分子束外延设备的微机控制系统 | |
| 引用本文： | 刘培铭,周玉美,曾石安,马久燕.分子束外延设备的微机控制系统[J].物理,1988(6). |
| 作者姓名： | 刘培铭 周玉美 曾石安 马久燕 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 (刘培铭，周玉美，曾石安)，中国科学院物理研究所(马久燕) |
| 摘 要： | 分子束外延设备是发展分子束外延技术的大型仪器.它用于生长新型的薄膜材料,以研究新材料、新器件、新效应.国产分子束外延设备经过几年的努力,已达到较高水平,但是要提高其性能,特别是为生长超晶格材料,计算机的控制是不可缺少的.我们为国产的分子束外延设备研制了第一台微机控制系统. 微机控制系统解决了分子束外延设备最重要的两个部分的控制劫能:八个加热炉的炉温控制和五个加热炉快门的开、关控制.此处采用APPLE-II微机作为主控制机.系统框图如图1所示. 一、基本设计思想及技术指标1.温度的控制 对湿度的控制,实质上是对加热电源(恒… |
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