| 宽温范围LD端泵Nd∶YAG激光器泵浦源光谱理论化 |
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| 引用本文： | 彭春,陈仁,刘亚萍,吴振宇,罗杰平,李勤财,牟惠蓉. 宽温范围LD端泵Nd∶YAG激光器泵浦源光谱理论化[J]. 光学学报, 2022, 42(4): 109-116. DOI: 10.3788/AOS202242.0412002 |
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| 作者姓名： | 彭春 陈仁 刘亚萍 吴振宇 罗杰平 李勤财 牟惠蓉 |
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| 作者单位： | 西南技术物理研究所,四川成都610041 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项(2017ZX02101006)； |
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| 摘 要： | 针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型，仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO2薄膜的硅片样品进行了实验验证，发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明，调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO2膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器，可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。
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| 关 键 词： | 激光器 二极管泵浦 光谱优化 多波长泵浦 |
Gain Coefficient Process Dependency of Focusing and Leveling Sensor |
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| Peng Chun,Chen Ren,Liu Yaping,Wu Zhenyu,Luo Jieping,Li Qincai,Mu Huirong. Gain Coefficient Process Dependency of Focusing and Leveling Sensor[J]. Acta Optica Sinica, 2022, 42(4): 109-116. DOI: 10.3788/AOS202242.0412002 |
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| Authors: | Peng Chun Chen Ren Liu Yaping Wu Zhenyu Luo Jieping Li Qincai Mu Huirong |
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