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基于修正Levenberg-Marquardt算法的非球面面形误差校正
引用本文:邓建南,王晗,姚洪辉,张嘉荣,卓少木,颜晓强.基于修正Levenberg-Marquardt算法的非球面面形误差校正[J].光学学报,2022,42(5):86-93.
作者姓名:邓建南  王晗  姚洪辉  张嘉荣  卓少木  颜晓强
作者单位:省部共建精密电子封装国家重点实验室,广东广州510006;广东工业大学机电工程学院,广东广州510006,广东工业大学机电工程学院,广东广州510006
基金项目:国家自然科学基金(52075147,51675160);
摘    要:透射显示双屏偏折系统解决了传统方法无法测量非连续镜面三维形貌的难题,其使用透明显示屏,既增大了测量视场又减小了系统结构的复杂性。但透明显示屏的折射效应会导致三维测量结果产生误差。在分析透射显示双屏系统中折射光路的基础上,提出一种透明显示屏折射误差补偿方法。首先分析透射显示双屏系统测量原理及折射误差产生原因。在参数标定过程中,从相位角度对透明显示屏引入的折射误差进行补偿。在所研制的测量系统上验证所提出的折射误差补偿方法。实验结果表明,该方法消除了折射效应带来的误差,提高了镜面物体三维形貌测量的精度。

关 键 词:测量  光学非球面  面形检测  数据处理  误差分离

Compensation Method of Refraction Error Caused by Transparent Display Screen in Transmissive Display Dual-Screen Deflectometric System
Deng Jiannan,Wang Han,Yao Honghui,Zhang Jiarong,Zhuo Shaomu,Yan Xiaoqiang.Compensation Method of Refraction Error Caused by Transparent Display Screen in Transmissive Display Dual-Screen Deflectometric System[J].Acta Optica Sinica,2022,42(5):86-93.
Authors:Deng Jiannan  Wang Han  Yao Honghui  Zhang Jiarong  Zhuo Shaomu  Yan Xiaoqiang
Abstract:
Keywords:
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