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Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究
引用本文:张大威,齐立红,李忠芳,陈淑妍,尼启良,陈波.Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究[J].光学技术,2005,31(1):14-16.
作者姓名:张大威  齐立红  李忠芳  陈淑妍  尼启良  陈波
作者单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033
基金项目:国家自然科学基金资助项目(60223003),中国科学院长春光机所二期创新基金资助项目(2001.02)
摘    要:以McPHERSON247型掠入射软X射线 真空紫外单色仪配合5900Magnum通道电子倍增器,测量了Fe靶在高真空环境下的纳秒激光等离子体25~60nm波段的EUV光谱,单色仪理论光谱分辨率Δλ≤0.038nm,波长扫描间隔0.1nm。在上述波段内测得了FeVI及FeV的强发射线丛,认证出14根强谱线。

关 键 词:激光等离子体  EUV  光谱测量  谱线认证
文章编号:1002-1582(2005)01-0014-03
修稿时间:2004年10月20
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