Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究 |
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引用本文: | 张大威,齐立红,李忠芳,陈淑妍,尼启良,陈波.Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究[J].光学技术,2005,31(1):14-16. |
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作者姓名: | 张大威 齐立红 李忠芳 陈淑妍 尼启良 陈波 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(60223003),中国科学院长春光机所二期创新基金资助项目(2001.02) |
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摘 要: | 以McPHERSON247型掠入射软X射线 真空紫外单色仪配合5900Magnum通道电子倍增器,测量了Fe靶在高真空环境下的纳秒激光等离子体25~60nm波段的EUV光谱,单色仪理论光谱分辨率Δλ≤0.038nm,波长扫描间隔0.1nm。在上述波段内测得了FeVI及FeV的强发射线丛,认证出14根强谱线。
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关 键 词: | 激光等离子体 EUV 光谱测量 谱线认证 |
文章编号: | 1002-1582(2005)01-0014-03 |
修稿时间: | 2004年10月20 |
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