| 超精加工表面粗糙度的激光测量仪 |
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| 引用本文： | 武勇军,李向,曹芒,李达成.超精加工表面粗糙度的激光测量仪[J].应用激光,1996(2). |
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| 作者姓名： | 武勇军 李向 曹芒 李达成 |
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| 作者单位： | 清华大学精仪系 |
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| 摘 要： | 研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。
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| 关 键 词： | 表面粗糙度，光外差，测量 |
A Laser Surveying Apparatus of Super Grinding Surface Roughness |
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| Wu Yongjun,Li Xiang,Cao Mang,Li Dacheng.A Laser Surveying Apparatus of Super Grinding Surface Roughness[J].Applied Laser,1996(2). |
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| Authors: | Wu Yongjun Li Xiang Cao Mang Li Dacheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface roughness optical heterodyne measurement |
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