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| 扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势 | |
| 引用本文： | 宫建茹,万立骏,白春礼. 扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势[J]. 大学化学, 2003, 18(1): 7-11. DOI: 10.3969/j.issn.1000-8438.2003.01.002 |
| 作者姓名： | 宫建茹 万立骏 白春礼 |
| 作者单位： | 中国科学院化学研究所,北京,100080 |
| 摘 要： | 介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展 ,并讨论了该技术的发展趋势 |
| 关 键 词： | 扫描探针 纳米加工技术 现状 发展 微电子技术 机械刻蚀 电致刻蚀 光致刻蚀 热致刻蚀 浸笔印刷 |
Development of Nanolithography Based on Scanning Probe Microscopy |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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