| 用甲醇－氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 张小平.用甲醇－氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究[J].高压物理学报,1996(3). |
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| 作者姓名： | 张小平 |
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| 作者单位： | 郑州粮食学院物理教研室 |
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| 摘 要： | 利用甲醇－氢（ＣＨ３ＯＨ－Ｈ２）混合气体为气源，３０ｎｍ厚的无定形硅为过渡层，借助于微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＣＶＤ）成功地将金刚石薄膜生长在不锈钢上，其最低生长温度可至４２０℃，并且甲醇－氢混合气体比传统的甲烷－氢（ＣＨ４－Ｈ２）更具优势，测试表明这种金刚石薄膜有希望作为耐磨层在工业上应用
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| 关 键 词： | 甲醇－氢混合气 不锈钢 金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 |
STUDY ON DIAMOND FILM DEPOSITION GROWTH ON STAINLESS STEEL USING GAS SOURCE OF CH 3OH/H 2Zhang Xiaoping |
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| Institution: | (Zhengzhou Grain College,Zhengzhou 450052) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CH 3OH H 2 stainless steel diamond film MWCVD |
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