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GaAs电阻的压电调制效应
引用本文:
黄庆安,童勤义.GaAs电阻的压电调制效应[J].中国科学A辑,1993,36(5):526-530.
作者姓名:
黄庆安
童勤义
作者单位:
东南大学微电子中心 南京 210018
摘 要:
木文提出了GaAs电阻的压电调制概念。用悬臂梁的例子,从理论和实验上研究了GaAs电阻的压电调制效应,并指出该效应与应力梯度有关。
关 键 词:
传感器
GaAs器件
压电效应
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