电子辐照掺锂硅中深能级 |
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引用本文: | 姚秀琛,元民华,贾陶涛,罗守礼,兰李桥,秦国刚.电子辐照掺锂硅中深能级[J].中国科学A辑,1989,32(6):608-615. |
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作者姓名: | 姚秀琛 元民华 贾陶涛 罗守礼 兰李桥 秦国刚 |
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作者单位: | 1 北京大学物理系
2 北京有色金属研究总院
3 北京师范大学低能核物理研究所
4 中国高等科学技术中心(世界实验室) |
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摘 要: | 用深能级瞬态谱法,从与锂有关的缺陷的产生和锂对电照缺陷的退火的影响两个侧面,研究了不同合氧量硅中锂和电照缺陷的相互作用。指出了氧能抑制锂和电照缺陷的相互作用,只有当锂浓度不是远小于氧浓度时,锂才能有作用。E(0.17),E(0.21),E(0.38),E(0.50),H(0.42)和H(0.47)等与锂有关的缺陷分别在不同的条件下被观测到。对比了硅中氢和锂在与电照缺陷相互作用方面的相似与不同之处。
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关 键 词: | 掺锂硅 深能级 电子辐照 |
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