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电子辐照掺锂硅中深能级
引用本文:姚秀琛,元民华,贾陶涛,罗守礼,兰李桥,秦国刚.电子辐照掺锂硅中深能级[J].中国科学A辑,1989,32(6):608-615.
作者姓名:姚秀琛  元民华  贾陶涛  罗守礼  兰李桥  秦国刚
作者单位:1 北京大学物理系
2 北京有色金属研究总院
3 北京师范大学低能核物理研究所
4 中国高等科学技术中心(世界实验室)
摘    要:用深能级瞬态谱法,从与锂有关的缺陷的产生和锂对电照缺陷的退火的影响两个侧面,研究了不同合氧量硅中锂和电照缺陷的相互作用。指出了氧能抑制锂和电照缺陷的相互作用,只有当锂浓度不是远小于氧浓度时,锂才能有作用。E(0.17),E(0.21),E(0.38),E(0.50),H(0.42)和H(0.47)等与锂有关的缺陷分别在不同的条件下被观测到。对比了硅中氢和锂在与电照缺陷相互作用方面的相似与不同之处。

关 键 词:掺锂硅  深能级  电子辐照
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