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Au-GaN肖特基结的伏安特性
引用本文:
林兆军,张太平,武国英,王玮,阎桂珍,孙殿照,张建平,张国义.Au-GaN肖特基结的伏安特性[J].半导体学报,2000,21(4).
作者姓名:
林兆军
张太平
武国英
王玮
阎桂珍
孙殿照
张建平
张国义
作者单位:
1. 北京大学微电子所,北京 100871
2. 中国科学院半导体研究所新材料部,北京 100083
3. 北京大学物理系,北京 100871
摘 要:
在MBE和MOCVD两种方法制备的n-GaN材料上制作了Au-GaN肖特基结,测定了肖特基结的室温I-V特性.分析表明:GaN材料的载流子浓度对肖特基结的特性有很大的影响
关 键 词:
MBE
MOCVD
GaN
肖特基结
伏安特性
I-V Characteristics of Au-GaN Schottky Junction
Abstract:
Keywords:
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