| 基于F-P腔干涉的膜片式光纤微机电系统压力传感器 |
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| 引用本文： | 郑志霞,黄元庆. 基于F-P腔干涉的膜片式光纤微机电系统压力传感器[J]. 光子学报, 2012, 41(12) |
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| 作者姓名： | 郑志霞 黄元庆 |
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| 作者单位： | 1. 莆田学院电子信息工程系,福建莆田,351100
2. 厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门,361005 |
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| 基金项目： | 国家国际合作基金，福建省高校产学研合作重大项目 |
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| 摘 要： | 基于法布里-帕罗腔的干涉原理,采用微机电系统技术加工制作了一种光纤微机电系统压力传感器,采用浓硼扩散自停止腐蚀和磁控溅射的方法,制备厚度为6μm、机械灵敏度为0.502μm MPa的传感器敏感膜.基于强度解调技术,利用干涉腔的反射功率与压力的关系对压力进行解调,分析了腔长变化对反射率的影响,确定传感器线性工作点的波长,建立稳定的压力传感测试系统,测试结果表明,该传感器压强最小分辨率为62 Pa,灵敏度达到0.51nW/WKPa,具有良好的线性度、灵敏度和重复性,适用于于人体内压力测量和口腔义齿压力测量.
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| 关 键 词： | 光纤F-P传感器 硼硅薄膜 机械灵敏度 反射率 强度解调 |
Diaphragm Type Optical Fiber MEMS Pressure Sensors Based on F-P Cavity Interference |
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| ZHENG Zhi-xia , HUANG Yuan-qing. Diaphragm Type Optical Fiber MEMS Pressure Sensors Based on F-P Cavity Interference[J]. Acta Photonica Sinica, 2012, 41(12) |
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| Authors: | ZHENG Zhi-xia HUANG Yuan-qing |
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