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| 高温超导薄膜及微波器件应用 | |
| 引用本文： | 李宏成.高温超导薄膜及微波器件应用[J].物理,1995(1). |
| 作者姓名： | 李宏成 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室 |
| 摘 要： | 介绍了高温超导薄膜制备方法（如磁控溅射、脉冲激光淀积、电子束共蒸发、化学气相沉积等）研究的进展和现状．对薄膜生长中的一些技术，如外延生长高质量的薄膜对基片的要求、常用的基片、为了减小像硅和蓝宝石一类的重要基片与高温超导薄膜间的扩散以及改善晶格匹配所采用的缓冲层技术等也作了简要的介绍，还介绍了薄膜的微波性质和用高温超导薄膜制备的微淡无源器件． |
| 关 键 词： | 高温超导薄膜，薄膜制备技术，薄膜微波性质，微波无源器件 |
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