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| 光学仪器 眼镜、放大镜、显微镜、望远镜 | |
| 摘 要： | TH741．8 2005053956 AFM纳米加工系统设计=Nano-fabrication system based on atomic force microscopy[刊,中]／朱吉牧(浙江大学现代 光学仪器国家重点实验室．浙江,杭州(310027)),章海军 …∥光学仪器．-2005,27(2)．-76-79 利用自行研制的原子力显微镜开发了一套纳米加工 系统,系统利用软件预先读入图形,根据图形控制探针的 精确走向,实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀,并且对陶瓷 管的非线性畸变实现了软件矫正。实验表明系统可加工 出精细的纳米图形,为进一步加工出更为精细复杂的纳米 器件奠定了基础。图4参8(于晓光) |
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