| C3N4硬膜的人工合成和鉴定 * |
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| 引用本文： | 顾有松,张永平,常香荣,田中卓,陈难先,时东霞,张秀芳,袁磊.C3N4硬膜的人工合成和鉴定 *[J].中国科学A辑,1999,29(8):757-768. |
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| 作者姓名： | 顾有松 张永平 常香荣 田中卓 陈难先 时东霞 张秀芳 袁磊 |
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| 作者单位： | 1 北京科技大学材料物理系 北京100083
2 中国科学院物理研究所凝聚态物理中心,北京真空物理实验室 北京100080 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目，国家重点实验室基金，中国科学院实验室基金 |
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| 摘 要： | 用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)在硅和铂衬底上得到高质量的C3N4薄膜 .计算了α-C3N4和β-C3N4单相X射线谱的峰位和强度 ,沉积膜的X射线谱具有两相的所有强峰 ,证明它是α- 和β- C3N4的混合物 .总的N/C比在1.0～2.0之间 .FT-IR和Raman谱支持C—N共价键的存在 .体积弹性模量达到349GPa .对薄膜特性的鉴定提出了一些看法.
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| 关 键 词： | β-C3N4 硬膜 微波等离子体化学气相沉积 |
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