纳米硅薄膜 |
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引用本文: | 何宇亮.纳米硅薄膜[J].物理,1991,20(1):22-22,28. |
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作者姓名: | 何宇亮 |
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作者单位: | 南京大学物理系 南京210008 |
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摘 要: | 非晶态硅薄膜是当前重要的人工功能材料,它具有亚稳态结构,具有一系列不同于晶态硅的特征.十余年来,用非晶硅薄膜材料已研制成各种类型的非晶态半导体新器件1].然而,由于这种材料本身还存在一些弱点,如结构上的亚稳状态及不稳定性,工艺上不易做到很好的重复,有较强的光感生效应及热不稳定性;迁移率及载流子寿命远低于晶态硅等,因而它的进一步开发和应用受到了限制. 如何改进非晶硅薄膜材料的性能、质量以及寻求提高迁移率、载流子寿命这些重要参数是当务之急.近几年,国外不少研究工作又重新回到探索和改进非晶硅薄膜材料性能上来,从薄膜沉…
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关 键 词: | 纳米 硅 薄膜 非晶态 半导体 |
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