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| 衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响 | |
| 引用本文： | 范丽琴.衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响[J].物理实验,2014(6). |
| 作者姓名： | 范丽琴 |
| 作者单位： | 华侨大学厦门工学院; |
| 摘 要： | 利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响.当给衬底加热时,X射线衍射观测(002)峰相对强度明显增强.在衬底温度250℃下制备的薄膜的晶粒尺寸最大,为24.9nm,表面粗糙度最小,为8.1nm,表明在衬底温度250℃下制备的薄膜的结晶效果最好.衬底温度从30℃升高到250℃,薄膜的电阻率相应地从14.35×10-4Ω·cm降低到7.18×10-4Ω·cm,随着衬底温度的升高,电阻率反而增大.所有样品在可见光区的平均光学透射率都大于85%.引入品质因子分析薄膜的光电性能,当衬底温度为250℃时,品质因子最大为16.15×10-3Ω-1,其光电性能最好. |
| 关 键 词： | 掺铝氧化锌薄膜 衬底温度 电阻率 透射率 |
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