基于横向剪切干涉图像的波像差求取技术 |
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作者姓名: | 李莉 李刚 沈洪斌 殷建玲 王元铂 |
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作者单位: | 军械工程学院电子与光学工程系; |
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基金项目: | 军械工程学院基金资助项目(No.YJJXM12026) |
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摘 要: | 基于横向剪切干涉的光学系统像差检测实验,需要从干涉图像中解算出像差值.根据像差函数,完成了带有各类波像差的横向剪切干涉图像的模拟与处理,在此基础上,利用Zernike多项式法求解出波像差,所得结果与初始模拟值进行比较,误差在5%以内.
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关 键 词: | 波像差 横向剪切干涉 Zernike多项式 |
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