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分类号
杂志ISSN号
高阻半导体薄层电阻测定方法研究
作者姓名:
翟冬青
王英民
作者单位:
河北大学电子系(翟冬青),河北大学电子系(王英民)
摘 要:
本文提出了高阻半导体薄层电阻的一种测量方法。将待测样品用平面技术制备成矩形,薄层电阻由所加直流电压和电流指示算出。测量精度取决于欧姆接触的保证及电表精度,由薄膜厚度的精确控制和测量,可精确测定薄膜电阻率。
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