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| 同步辐射X线光刻 | |
| 引用本文： | 陈梦真.同步辐射X线光刻[J].物理学进展,1992,12(3):359-374. |
| 作者姓名： | 陈梦真 |
| 作者单位： | 中科院微电子中心 |
| 摘 要： | X线光刻是未来亚微米应用的重要微光刻技术、近年来,同步辐射X线光源的应用是技术上一个重要发展,本文叙述了同步辐射X线光刻在微电子技术未来发展中的作用、现状及其基本技术问题。并介绍了我国同步辐射X线光刻的发展情况。 |
| 关 键 词： | 同步辐射 X射线源 光刻技术 |
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