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花状纳米金结构阵列的工艺制备与拉曼增强研究(英文)
作者姓名:李明斌  吴学忠  董培涛  陈剑
作者单位:国防科学技术大学机电工程与自动化学院
基金项目:supported by Foundation of State Key Laboratories of Transducer Technology(SKT1201)
摘    要:基于纳米球光刻技术制备了一种花状纳米金结构阵列,经过PS509nm球旋凃和ICP氧刻蚀,再通过镀金膜与高温退火工艺,纳米球阵列的表面被粗糙化,进而形成了一种鳞状的花状阵列。FDTD仿真结果表明,制备的这种阵列具备很高的电磁场增强特性,主要的增强集中于纳间隙的边缘处。以罗丹明6G染料为探针分子测试基底的拉曼效应,与金基底的拉曼信号相比,该纳米结构阵列拉曼增强效应明显,对罗丹明6G的检测极限达到了10-6 mol/L的水平。

关 键 词:纳米球光刻技术  花状阵列  FDTD仿真  拉曼测试
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