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| 一种变频相移干涉测量的相位提取算法 | |
| 引用本文： | 刘剑,田爱玲,刘丙才,王红军.一种变频相移干涉测量的相位提取算法[J].光学学报,2014(3):120-124. |
| 作者姓名： | 刘剑 田爱玲 刘丙才 王红军 |
| 作者单位： | 西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51075322);陕西省教育厅高精度小平面干涉仪研制基金(12JS048) |
| 摘 要： | 相位提取的精度直接影响相移干涉测量的精度。在变频相移干涉测量中,相移量由干涉腔长和波长变化量决定,必须对测试系统进行相位标定,但常因相位标定不精确而引入相移误差,影响相位提取的精度。运用一种基于迭代的相位求解算法,该算法无需对测试系统进行相位标定,可以在被测相位和相移量均未知的情况下,通过交替迭代法求解出被测相位。通过仿真比较了传统四步相移和基于迭代的相位求解算法的相位提取精度,结果表明,基于迭代的相位求解算法的相位提取精度优于传统四步相移算法的精度。 |
| 关 键 词： | 测量 变频相移 相移干涉 相位提取 迭代算法 |
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