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| 吸气溅射装置 | |
| 作者姓名： | 蒙如玲 陈桂玉 赵柏儒 郭树权 李林 陈岚峰 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所(蒙如玲，陈桂玉，赵柏儒，郭树权，李林)，冶金部有色金属研究院(陈岚峰) |
| 摘 要： | 我们研制了一台吸气溅射装置,使用普通真空系统.文中介绍了吸气溅射原理及装置的结构.并用溅射Nb_3Ge的条件,制备了Nb膜,超导转变温度为8.95K. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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