电解有机溶液法制备CNx薄膜 |
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作者姓名: | 许杞安 沈明荣 宁兆元 朱警生 |
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作者单位: | 苏州大学物理系,中国科学技术大学结构分析开放研究实验室 |
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摘 要: | 在60℃和常压下,电解甲醇和脲的混合溶液在硅基片上沉积CNx薄膜.傅里叶红外和Raman测试表明,所得薄膜是非晶态的,碳和氮主要是以C—N,C—C,CC和CN的形式成键,有少量的碳和氮以CN的形式成键.X射线光电子能谱测试表明,氮是以SP2和SP3杂化形式与碳化学成键来成膜的.测试结果表明通过液相沉积法所得CNx薄膜与汽相沉积法所得CNx薄膜的结构比较接近
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关 键 词: | CN薄膜 电解有机溶液法 薄膜制备 |
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