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| 硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管的红外响应 | |
| 引用本文： | 吴作良,梁平治,董亮初,凌裕农,董建民,王留福.硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管的红外响应[J].红外与毫米波学报,1986,5(5). |
| 作者姓名： | 吴作良 梁平治 董亮初 凌裕农 董建民 王留福 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 (吴作良，梁平治，董亮初，凌裕农，董建民)，中国科学院上海技术物理研究所(王留福) |
| 摘 要： | 硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管是短波红外CCD和焦平面的光敏元,利用成熟的硅大规模集成电路工艺可以把它和信息处理电路做在同一芯片上,因此,易于做成高密度多象元的器件。近几年来,这种器件发展很快,性能有很大的提高。目前,人们正在发展长波硅肖特基势垒红外CCD,因此,对硅肖特基势垒二极管的光谱响应十分关注。本文对硅化 |
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