| 用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建 |
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| 引用本文： | 孟迎军,华敏.用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建[J].南京理工大学学报(自然科学版),2002,26(6):632-636. |
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| 作者姓名： | 孟迎军 华敏 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京210094 |
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| 基金项目： | 国防科技预研行业基金资助项目 |
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| 摘 要： | 该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法。这种方法能应用于微振动的精确测量。实验证明，用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜，并且具有很高的灵敏度和准确度。
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| 关 键 词： | 构建 微型迈克尔逊干涉仪 振动传感器 微振动测量 |
| 修稿时间： | 2002年2月28日 |
The Construction of Microstructure Michelsons Interferometer for Micro-vibration Measurement |
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| MengYingjun,HuaMin.The Construction of Microstructure Michelsons Interferometer for Micro-vibration Measurement[J].Journal of Nanjing University of Science and Technology(Nature Science),2002,26(6):632-636. |
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| Authors: | MengYingjun HuaMin |
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| Abstract: | A method to construct the microstructure Michelsons interferometer with semiconductor laser is introduced in this paper.This method can be used in micro vibration measurement of high quality. Experiments have proved that the micro vibration sensor constructed by this new method has many advantages of small volume, low weight, low cost, high sensitivity and high accuracy. |
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| Keywords: | Michelsons interferometer vibration sensors micro vibration measurement |
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