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热处理对电沉积制备ZnS薄膜物相组成及光学性能的影响
引用本文:夏冬林,石正忠,张兴良,王慧芳,刘俊. 热处理对电沉积制备ZnS薄膜物相组成及光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 392-395
作者姓名:夏冬林  石正忠  张兴良  王慧芳  刘俊
作者单位:武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070
摘    要:采用电沉积方法在氧化铟锡(ITO)导电玻璃上沉积了ZnS薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光(UV-VIS)分光光度计对薄膜的微结构和光学性能进行了表征,研究了热处理条件对薄膜的相组成和光学性能的影响.结果表明:电沉积制备的ZnS薄膜呈非晶态,并且含有单质Zn.硫化热处理可以改善薄膜的结晶状况,减少杂质Zn的含量.硫气氛中450 ℃热处理4 h之后,薄膜中单质Zn全部反应生产ZnS,得到了纯的ZnS薄膜.没有经过热处理的薄膜,其可见光透射率在70;左右,热处理后薄膜样品的透射率降低,在硫气氛中热处理4 h的样品,其可见光透射率最低,为50;左右,热处理条件对薄膜样品的禁带宽度值基本没有影响.

关 键 词:ZnS薄膜  电沉积  热处理  光学性能,

Influence of Annealing on the Composition and Optical Properties of ZnS Thin Films Fabricated by Electrodeposition
XIA Dong-lin,SHI Zheng-zhong,ZHANG Xing-liang,WANG Hui-fang,LIU Jun. Influence of Annealing on the Composition and Optical Properties of ZnS Thin Films Fabricated by Electrodeposition[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(2): 392-395
Authors:XIA Dong-lin  SHI Zheng-zhong  ZHANG Xing-liang  WANG Hui-fang  LIU Jun
Affiliation:XIA Dong-lin,SHI Zheng-zhong,ZHANG Xing-liang,WANG Hui-fang,LIU Jun(Key Laboratory of Silicate Materials Science , Engineering,Ministry of Education,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,China)
Abstract:
Keywords:ZnS thin films  electrodeposition  annealing  optical properties  
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