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| PSII系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断 | |
| 引用本文： | 王金刚,邓新绿,刘天伟,孙超,徐军. PSII系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断[J]. 核聚变与等离子体物理, 2004, 24(4): 311-314 |
| 作者姓名： | 王金刚 邓新绿 刘天伟 孙超 徐军 |
| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 |
| 摘 要： | 用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSII系统的微波ECR等离子体进行了诊断,得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体密度和电子温度的影响,及真空室内等离子体的分布。 |
| 关 键 词： | 朗缪尔探针 微波ECR 等离子体密度 电子温度 |
| 文章编号： | 0254-6086(2004)04-0311-04 |
| 修稿时间： | 2004-01-15 |
Microwave ECR plasma diagnosis in a PSII system with Langmuir probe |
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| WANG Jin-gang,DENG Xin-lu,LIU Tian-wei,SUN Chao,XU Jun University of Technology,Dalian ). Microwave ECR plasma diagnosis in a PSII system with Langmuir probe[J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 2004, 24(4): 311-314 | |
| Authors: | WANG Jin-gang DENG Xin-lu LIU Tian-wei SUN Chao XU Jun University of Technology Dalian ) |
| Affiliation: | WANG Jin-gang,DENG Xin-lu,LIU Tian-wei,SUN Chao,XU Jun University of Technology,Dalian 116024) |
| Abstract: | The microwave ECR plasma in a cusp field has been diagnosed with the Langmuir probe. The plasma was generated in a novel multifunction PSII system with double symmetrical ECR chambers. The effects of gas pressure and microwave power on both the electron temperature and the plasma density are discussed. The plasma distribution in the process chamber has been detected. |
| Keywords: | Langmuir probe Microwave ECR Plasma density Electron temperature |
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