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基区Ge组分分布对SiGe pnp HBT的影响
引用本文:李立, 戴显英, 朱永刚, 胡辉勇,. 基区Ge组分分布对SiGe pnp HBT的影响[J]. 电子器件, 2006, 29(3): 635-638
作者姓名:李立   戴显英   朱永刚   胡辉勇  
作者单位:西安电子科技大学微电子学院,西安,70071;西安电子科技大学微电子学院,西安,70071;西安电子科技大学微电子学院,西安,70071;西安电子科技大学微电子学院,西安,70071
基金项目:国家重点实验室基金;国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:采用SiGe异质结结构提高pnp晶体管的性能,重点研究了Ge组分在基区的三角形分布对晶体管电流增益β和特征频率fτ的影响。三角形分布,又分为起点为零和不为零两种情况。同时为了消除集电结处SiGe异质结的价带势垒对空穴输运的影响,Ge组分向集电区延伸进一步提高了晶体管的性能。得到最大电流增益β可达150和特征频率fτ可达15GHz的pnp SiGe HBT,可以广泛地应用到通信、微波和射频领域。

关 键 词:SiGe pnp HBT  Ge分布  电流增益β  特征频率fT
文章编号:1005-9490(2006)03-0635-04
收稿时间:2005-10-07
修稿时间:2005-10-07

Influence of Ge in the Base of SiGe pnp HBT
LI Li,DAI Xian-ying,ZHU Yong-gang,HU Hui-yong. Influence of Ge in the Base of SiGe pnp HBT[J]. Journal of Electron Devices, 2006, 29(3): 635-638
Authors:LI Li  DAI Xian-ying  ZHU Yong-gang  HU Hui-yong
Abstract:
Keywords:SiGe pnp HBT
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