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SNO2掺Sb薄膜导电机理
引用本文:陈洪,杨珺,杨贤镛.SNO2掺Sb薄膜导电机理[J].科技咨询导报,2007(15):41-41.
作者姓名:陈洪  杨珺  杨贤镛
作者单位:湖北工业大学机械工程学院,武汉430068
摘    要:透明导电膜是一种重要的光电材料,应用广泛。本文介绍了掺锑氧化锡(ATO)薄膜的导电机理和光电性能。掺锑氧化锡薄膜属四方相金红石结构,薄膜中的Sn呈+4价,掺杂的Sb分别以+5和+3价形式存在。对SnO2薄膜电学性能的研究表明,适量的Sb掺杂能显著提高薄膜的导电性能,但是过量的掺杂会导致导电性能的下降。

关 键 词:透明导电薄膜  导电性能  锑掺杂二氧化锡薄膜  导电率
文章编号:1673-0534(2007)05(c)-0041-01
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