混合稀土氧化物掺杂SnO2气敏元件的研制

研究了Ｎｄ２Ｏ３与Ｓｍ２Ｏ３混合掺杂的ＳｎＯ２气敏元件的制作 工艺和敏感性能。测量结果表明，这种元件对乙炔气体敏感，且具有选择性好，灵敏度高等优点。