用于量子传感的窄线宽无磁垂直腔面发射激光器

为了研制出表面微透镜集成外腔的垂直腔面发射激光器（VCSEL），实现窄线宽无磁激光输出，满足原子磁强计等量子传感器应用要求，本文设计并生长了适合于表面集成微透镜的VCSEL外延结构，完成了表面微透镜集成外腔VCSEL器件制备，在电极材料方面选取无磁材料以满足应用要求。实验结果表明：研制的VCSEL器件工作温度达到90°C，激光波长为896.3 nm，功率为1.52 mW，边模抑制比为36.3 dB，激光线宽为38 MHz，封装为模组后的磁场强度低于0.03 nT。结果表明本文研制的窄线宽无磁VCSEL满足量子传感的应用需求。