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制造微通道板的简易方法
引用本文:严增濯.制造微通道板的简易方法[J].光电技术,2005,46(4):34-38.
作者姓名:严增濯
作者单位:华东电子集团公司,南京210028
摘    要:不采用传统且复杂的制造微通道板的方法。先研制一块具有较微细凹凸的波形母版式的模具.然后在其上面压制出底板。在此波形底板上涂以次级电子发射材料。再将此板与涂有次级电子发射层的一块平板间隔叠放。在固定并切割后,即可制得价格低廉的大面积微通道板。

关 键 词:微通道板  制造方法  电子发射材料  次级电子  发射层  底板  波形
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