制造微通道板的简易方法 |
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引用本文: | 严增濯.制造微通道板的简易方法[J].光电技术,2005,46(4):34-38. |
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作者姓名: | 严增濯 |
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作者单位: | 华东电子集团公司,南京210028 |
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摘 要: | 不采用传统且复杂的制造微通道板的方法。先研制一块具有较微细凹凸的波形母版式的模具.然后在其上面压制出底板。在此波形底板上涂以次级电子发射材料。再将此板与涂有次级电子发射层的一块平板间隔叠放。在固定并切割后,即可制得价格低廉的大面积微通道板。
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关 键 词: | 微通道板 制造方法 电子发射材料 次级电子 发射层 底板 波形 |
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