首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
    按 检索      

微电子薄膜材料研究方兴未艾
引用本文：李炳宗.微电子薄膜材料研究方兴未艾[J].国际学术动态,1995(1):56-60,69.
作者姓名：李炳宗
摘    要：
关 键 词：微电子器件  薄膜材料  非晶硅  金属化  半导体
本文献已被 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号