| 微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成 |
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| 引用本文： | 王玮冰,陈大鹏,叶甜春.微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成[J].电子工业专用设备,2005,34(1):25-27,62. |
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| 作者姓名： | 王玮冰 陈大鹏 叶甜春 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 微悬臂梁传感器是一种利用体硅加工技术和表面加工技术制备而成的一种基本微传感器类型,由微悬臂梁结构可以发展改进得到对于多种敏感物质响应的传感器件.同样,根据传感器原理,输出信号形式的不同,可以采用多种信号读出系统与其集成.在本文中将说明传感器与信号读出部件组成的微系统结构,以及应用实例,自支撑微悬臂梁结构通过光学和电学的信号读出系统组成能够完成一定功能的集成微系统.
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| 关 键 词： | ~~ |
| 文章编号： | 1004-4507(2005)01-0025-04 |
Integrated Micro-sensor Based on Cantilever Structure and Readout System |
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