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| 高质量HgCdTe薄膜的液相外延生长 | |
| 引用本文： | 马庆华,陈建才,姬荣斌,杨宇.高质量HgCdTe薄膜的液相外延生长[J].红外技术,2005,27(1):42-44. |
| 作者姓名： | 马庆华 陈建才 姬荣斌 杨宇 |
| 作者单位： | 1. 云南大学,云南,昆明,650091;昆明物理研究所,云南,昆明,650223 2. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223 3. 云南大学,云南,昆明,650091 |
| 摘 要： | 用固态HgTe作为Hg补偿源，采用开管、水平滑块推舟的富Te液相外延(LPE)方法在碲锌镉(Cd1-yZnyTe，y=0．04)衬底上外延生长大面积Hg1-xCdxTe(x=0．2)薄膜材料，通过适当的生长条件得到组分均匀、结构完整、表面形貌良好的长波碲镉汞薄膜。测试结果表明本方法生长的HgCdTe薄膜能满足目前研制红外焦平面器件的要求。 |
| 关 键 词： | 液相外延生长 红外焦平面器件 碲镉汞 衬底 CdTe薄膜 高质量 长波 固态 表面形貌 薄膜材料 |
| 文章编号： | 1001-8891(2005)01-0042-03 |
Growth of HgCdTe Films by LPE |
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| MA Qing-hua,CHEN Jian-cai,JI Rong-bin,YANG Yu.Growth of HgCdTe Films by LPE[J].Infrared Technology,2005,27(1):42-44. | |
| Authors: | MA Qing-hua CHEN Jian-cai JI Rong-bin YANG Yu |
| Abstract: | Hg1-xCdxTe (x=0.2) films have been grown from Te-rich solution in open-tube sliding-boat LPE system on Cd1-xZnxTe (y=0.04) substrates. Solid HgTe was used to compensate for the Hg loss from the solution. Large-size long wavelength MCT films with uniform composition, perfect construction and good morphology were obtained. The measurements show that the epilayer can satisfy the fabrication of Focus Plane Arrays(FPAs). |
| Keywords: | LPE HgCdTe FPAs |
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