| 电解有机溶液法制备CNx薄膜 |
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| 引用本文： | 许杞安,沈明荣,宁兆元,朱警生.电解有机溶液法制备CNx薄膜[J].物理学报,1999,48(7):1292-1296. |
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| 作者姓名： | 许杞安 沈明荣 宁兆元 朱警生 |
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| 作者单位： | 苏州大学物理系, 杭州 215006;苏州大学物理系, 杭州 215006;苏州大学物理系, 杭州 215006;中国科学技术大学结构分析开放研究实验室, 合肥 230026 |
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| 摘 要： | 在60℃和常压下，电解甲醇和脲的混合溶液在硅基片上沉积CNx薄膜．傅里叶红外和Raman测试表明，所得薄膜是非晶态的，碳和氮主要是以C—N,C—C,C＝C和C＝N的形式成键，有少量的碳和氮以C≡N的形式成键．X射线光电子能谱测试表明，氮是以SP2和SP3杂化形式与碳化学成键来成膜的．测试结果表明通过液相沉积法所得CNx薄膜与汽相沉积法所得CNx薄膜的结构比较接近.
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| 收稿时间： | 8/3/1998 12:00:00 AM |
DEPOSITION OF CNx THIN FILMS BY ELECTROLYSIS OF ORGANIC SOLUTION |
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| XU QI-AN,SHEN MING-RONG,NING ZHAO-YUAN and ZHU JING-SHENG.DEPOSITION OF CNx THIN FILMS BY ELECTROLYSIS OF ORGANIC SOLUTION[J].Acta Physica Sinica,1999,48(7):1292-1296. |
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| Authors: | XU QI-AN SHEN MING-RONG NING ZHAO-YUAN and ZHU JING-SHENG |
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