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| 劳埃德式紫外激光干涉光刻实验 | |
| 引用本文： | 钟晓岚,宋佳奇,李晓苗,姚旭,严琪琪,金硕.劳埃德式紫外激光干涉光刻实验[J].物理实验,2023(3):22-28. |
| 作者姓名： | 钟晓岚 宋佳奇 李晓苗 姚旭 严琪琪 金硕 |
| 作者单位： | 北京航空航天大学物理学院 |
| 摘 要： | 搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统，利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉，通过精确调整、控制光束的入射角，设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备，分析光栅周期与波长、入射角的关系；在拓展实验中，制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备，前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔.基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高，同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容，有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能. |
| 关 键 词： | 劳埃德镜 紫外激光干涉 激光光刻 微纳米技术 |