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微通道冷却器的数值分析
引用本文:刘婷婷,高杨,李磊民,胡莉. 微通道冷却器的数值分析[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(Z1): 87-90
作者姓名:刘婷婷  高杨  李磊民  胡莉
作者单位:1. 西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621010;中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
2. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
3. 西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621010
基金项目:国防科技基础研究基金资助课题(K1303060115);国家863计划项目资助课题
摘    要:微通道热沉是制作在硅芯片基底背面的微细通道,其水力直径范围为10~1 000 μm.微通道具有高表面积-体积比、低热阻、低流量等特点,是一种高效散热的解决方案.一个典型应用是激光二极管列阵的致冷.然而,微通道里流体的状态和传热与宏观状态相比有很大不同,有必要开展进一步研究.论文采用商业软件CoventorWareTM建立一个平板式微通道的有限元模型,据此对微通道中流体状态及传热进行了数值计算,获得了单个微通道中流场和温度的分布.结果表明,对于2 000 μm×50 μm×500 μm的微通道,能够对500 W/cm2的热通量快速散热,热阻仅有0.042 3 K/(W·cm-2).

关 键 词:微电子机械系统   微通道   冷却器
文章编号:1001-4322(2005)S0-0087-04
修稿时间:2004-11-22

Numerical simulation in a microchannel cooler
LIU Ting-ting,GAO Yang,LI Lei-min,Hu Li. Numerical simulation in a microchannel cooler[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17(Z1): 87-90
Authors:LIU Ting-ting  GAO Yang  LI Lei-min  Hu Li
Affiliation:LIU Ting-ting 1,2,GAO Yang2,LI Lei-min1,HU Li1
Abstract:
Keywords:Micro Electromechanical System  Microchannel  Cooler  
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