| 一种新型的锥尖制作方法研究 |
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| 引用本文： | 欧益宏,温志渝,周民来. 一种新型的锥尖制作方法研究[J]. 压电与声光, 2003, 25(4): 344-346 |
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| 作者姓名： | 欧益宏 温志渝 周民来 |
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| 作者单位： | 1. 解放军后勤工程学院,重庆,400016
2. 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 |
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| 摘 要： | 主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料，优化锥尖形状，锐化锥尖尖度，以提高传感器灵敏度，增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明：优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0．2nA，灵敏度为0．1μA／g。
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| 关 键 词： | 真空微电子压力传感器 阴极锥尖 反应离子腐蚀 等离子腐蚀 发射电流 制作方法 |
| 文章编号： | 1004-2474(2003)04-0344-03 |
| 修稿时间： | 2002-07-31 |
Study on a Novel Method of Forming Silicon Tip |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum pressure sensor silion-tip reactive ion etch and plasma etch emitting current |
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